Термопатроны ПАС — НПО ЭНЕРГОкомплект
Наше предприятие поставляет термопатроны ПАС, предназначением которых является обеспечение монолитного соединения алюминиевых проводов методом сварки. Использование изделий при сооружении воздушных линий электропередачи (ВЛ) позволяет значительно упростить выполнение монтажных операций и существенно сократить общую длительность сооружения ВЛ. В зависимости от сечения свариваемого провода предлагается 14 видов термопатронов диаметром 16 до 600 мм².
| Наименование ПАС | Диаметр втулки изделия, мм | Алюминиевый провод ГОСТ 839-80 | Сталеалюминиевый провод ГОСТ 839-80 | Максимальная нагрузка Н, не менее А/АС | ||
| Марка провода | Диаметр провода, мм | Марка провода | Диаметр провода, мм | |||
| ПАС — 16 | 6+0,48 | А 16 | 5,1 | АС 16/2,7 | 5,6 | 490 / 980 |
| ПАС — 25 | 7,3+0,58 | А 25 | 6,4 | АС 25/4,2 | 6,9 | 735 / 1470 |
| ПАС — 35 | 8,7+0’58 | А 35 | 7,5 | АС 35/6,2 | 8,4 | 980/ 1960 |
| А 40 | 8,01 | |||||
| ПАС — 50 | 10,2+0’7 | А 50 | 9,0 | АС 50/8,0 | 9,6 | 1225 /2450 |
| А 63 | 10,16 | |||||
| ПАС — 70 | 12,5+0’7 | А 70 | 10,7 | АС 63/10,5 | 10,97 | 1470/2940 |
| А95 | 12,3 | АС 70/11 | 11,4 | |||
| ПАС — 95 | 14,8+0’7 | А 120 | 14,0 | АС 95/16 | 13,5 | 2205 /4410 |
| А 125 | 14,47 | АС 100/16,7 | 13,82 | |||
| АС 125/6,9 | 14,67 | |||||
| ПАС — 120 | 16,2+0’7 | А 150 | 15,8 | АС 120/19 | 15,2 | 2695 / 5390 |
| АС 120/27 | 15,4 | |||||
| АС 125/20,4 | 15,67 | |||||
| ПАС — 150 | 18,2+0’84 | А 185 | 17,5 | АС 150/19 | 16,8 | 3430 / 6860 |
| АС 150/24 | 17,1 | |||||
| АС 160/89 | 16,82 | |||||
| АС 150/34 | 17,5 | |||||
| АС 160/26,1 | 17,73 | |||||
| ПАС — 185 | 20,3+0 | А 240 | 20,0 | АС 185/24 | 18,9 | 3920 / 7840 |
| АС 185/24 | 18,8 | |||||
| АС 185/43 | 19,6 | |||||
| АС 205/27 | 19,8 | |||||
| АС 200/32,6 | 19,82 | |||||
| АС 200/11,1 | 18,8 | |||||
| ПАС — 240 | 22,7+0’84 | А 300 | 22,1 | АС 240/32 | 21,6 | 5390/ 10780 |
| АС 240/39 | 21,6 | |||||
| АС 240/56 | 22,4 | |||||
| ПАС — 300 | 26,7+0’84 | А 400 | 25,6 | АС 300/67 | 24,5 | 6370/ 12740 |
| АС 300/66 | 24,5 | |||||
| АС 315/51,3 | 24,87 | |||||
| АС 330/43 | 25,2 | |||||
| АС 330/30 | 24,8 | |||||
| АС 400/18 | 26 | |||||
| ПАС — 400 | 30,5+1’0 | А 500 | 29,1 | АС 300/204 | 29,2 | 8820/ 17640 |
| А 550 | 30,3 | АС 500/27 | 29,4 | |||
| АС 400/93 | 29,1 | |||||
| АС 450/58,3 | 29,32 | |||||
| АС 430/56 | 28,8 | |||||
| ПАС — 500 | 32,2+1’0 | А 560 | 30,73 | АС 500/64,8 | 30,9 | 8820/ 17640 |
| А 600 | 31,5 | АС 500/64 | 30,6 | |||
| ПАС — 600 | 34,8+1’0 | А 650 | 32,9 | АС 600/72 | 33,2 | 9800/ 19600 |
| А 700 | 34,2 | 34,5 | ||||
| АС 630/43,6 | 33,79 | |||||
| АС 650/79 | 34,7 | |||||
| АС 630/79,8 | 34,69 | |||||
Термопатроны ПАС можно использовать не только на этапе постройки новых ВЛ, но и стадии эксплуатации уже существующих.
Например, при восстановлении оборванных линий независимо от причин обрыва использование термитной сварки позволяет в короткий срок ликвидировать аварию и возобновить подачу электроэнергии потребителям. Таким образом, термопатроны ПАС косвенно служат обеспечению бесперебойности электроснабжения. А в рамках модернизации ВЛ целесообразно использовать сварку для замены монолитным соединением контактных зажимов – самого, пожалуй, слабого звена любой воздушной линии электропередачи.
Термопатронам ПАС присуща ещё одна особенность. Коммутация проводов производится очень простым способом, без привлечения сложных монтажных приспособлений и инструментов. В ряде случаев это является решающим фактором при выборе метода соединения проводов.
Научно-Производственное Объединение «ЭнергоКомплект» также поможет доставить термопатроны ПАС в любую точку России, а также ближнего зарубежья автомобильным или железнодорожным транспортом.
По всем интересующим Вас вопросам обращайтесь:
ТЕРМОПАТРОНЫ
ТЕРМОПАТРОНЫС использованием термопатронов провода соединяются методом термитной сварки, в процессе которой происходит соединение проводников на уровне кристаллической решётки.
То есть, с электрической точки зрения характеристики контакта ничем не отличаются от параметров цельного провода. С применением данных изделий можно отказаться — там, где позволяет проект – от использования соединительных зажимов разного вида, значительно ускоряя процесс коммутации проводов и одновременно повышая качество их соединения.
| № | Наименование | Проект | Вес | Цена, тг. с ндс 12% | Фото |
|---|---|---|---|---|---|
| 1 | Термитный патрон ПАС-25 | ТУ РБИД.771936.001 | 0,013 кг | договорная (звонить +7 (701) 945-04-53) | |
| 2 | Термитный патрон ПАС-35 | ТУ РБИД.771936.001 | 0,020 кг | договорная (звонить +7 (701) 945-04-53) | |
| 3 | Термитный патрон ПАС-50 | ТУ РБИД. 771936.001 | 0,045 кг | договорная (звонить +7 (701) 945-04-53) | |
| 4 | Термитный патрон ПАС-70 | ТУ РБИД.771936.001 | 0,055 кг | договорная (звонить +7 (701) 945-04-53) | |
| 5 | Термитный патрон ПАС-95 | ТУ РБИД.771936.001 | 0,080 кг | договорная (звонить +7 (701) 945-04-53) | |
| 6 | Термитный патрон ПАС-120 | ТУ РБИД. 771936.001 | 0,080 кг | договорная (звонить +7 (701) 945-04-53) | |
| 7 | Термитный патрон ПАС-150 | ТУ РБИД.771936.001 | 0,095 кг | договорная (звонить +7 (701) 945-04-53) | |
| 8 | Термитный патрон ПАС-185 | ТУ РБИД.771936.001 | договорная (звонить +7 (701) 945-04-53) | ||
| 9 | Термитный патрон ПАС-240 | ТУ РБИД. 771936.001 | 0,270 кг | договорная (звонить +7 (701) 945-04-53) | |
| 10 | Термитный патрон ПАС-300 | ТУ РБИД.771936.001 | 0,270 кг | договорная (звонить +7 (701) 945-04-53) | |
| 11 | Термитный патрон ПАС-400 | ТУ РБИД.771936.001 | 0,370 кг | договорная (звонить +7 (701) 945-04-53) | |
| 12 | Термитный патрон ПАС-500 | ТУ РБИД. 771936.001 | 0,370 кг | договорная (звонить +7 (701) 945-04-53) |
+7 747 522-45-99
Высокоскоростной цифровой проект, возможность тестирования HSD (технический отчет)
Высокоскоростной цифровой проект, возможность тестирования HSD (технический отчет) | ОСТИ.GOVперейти к основному содержанию
- Полная запись
- Другое связанное исследование
Создание возможности высокоскоростного цифрового тестирования (HSD) для многокристального модуля (MCM) цифрового синтезатора сигналов (DWS) потребовало разработки нескольких областей: подробный план тестирования для MCM; проектирование, изготовление и обкатка быстродействующей испытательной консоли; а также спецификацию, дизайн и разработку интерфейса высокоскоростных испытаний и кондиционирования окружающей среды для DWS.
Эти разработки были успешно завершены в Allied Signal Inc., подразделение Kansas City Division (KCD), и возможности тестирования, описанные здесь, в настоящее время поддерживают тестирование DWS MCM и могут быть адаптированы для тестирования аналогичных модулей HSD.
- Авторов:
- Маркли, RE; Элартон, Дж. Л.; Аллен, К. Т.
- Дата публикации:
- Исследовательская организация:
- Allied-Signal Aerospace Co., Канзас-Сити, Миссури (США). Канзас-Сити Див.
- Организация-спонсор:
- USDOE, Вашингтон, округ Колумбия (США)
- Идентификатор ОСТИ:
- 10146570
- Номер(а) отчета:
- KCP-613-5292
ПО: DE94010885; РНН: AHC29410%%76
- Номер контракта с Министерством энергетики:
- AC04-76DP00613
- Тип ресурса:
- Технический отчет
- Отношение ресурсов:
- Прочая информация: PBD: апрель 1994 г.
- Страна публикации:
- США
- Язык:
- Английский
- Тема:
- 42 МАШИНОСТРОЕНИЕ; ЭЛЕКТРОННОЕ ОБОРУДОВАНИЕ; ТЕСТИРОВАНИЕ; ЦИФРОВЫЕ ЦЕПИ; ПЛАНИРОВАНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТА; ИСПЫТАТЕЛЬНЫЕ УСТРОЙСТВА; ИНТЕРФЕЙСЫ ОБОРУДОВАНИЯ; ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ; 426000; 420500; КОМПОНЕНТЫ, ЭЛЕКТРОННЫЕ УСТРОЙСТВА И СХЕМЫ; ИСПЫТАНИЯ МАТЕРИАЛОВ
Форматы цитирования
- MLA
- АПА
- Чикаго
- БибТекс
Маркли, Р.
Е., Элартон, Дж. Л., и Аллен, К. Т. Высокоскоростной цифровой проект, возможность тестирования HSD . США: Н. П., 1994.
Веб. дои: 10.2172/10146570.
Копировать в буфер обмена
Маркли, Р. Э., Элартон, Дж. Л., и Аллен, К. Т. Высокоскоростной цифровой проект, возможность тестирования HSD . Соединенные Штаты. https://doi.org/10.2172/10146570
Копировать в буфер обмена
Маркли, Р. Э., Элартон, Дж. Л., и Аллен, К. Т. 1994.
«Высокоскоростной цифровой проект, возможность тестирования HSD». Соединенные Штаты. https://doi.org/10.2172/10146570. https://www.osti.gov/servlets/purl/10146570.
Копировать в буфер обмена
@статья{osti_10146570,
title = {Высокоскоростной цифровой проект, возможность тестирования HSD},
автор = {Маркли, Р.
Э. и Элартон, Дж. Л. и Аллен, С. Т.},
abstractNote = {Создание возможности тестирования высокоскоростных цифровых сигналов (HSD) для многокристального модуля (MCM) синтезатора цифровых сигналов (DWS) потребовало разработки нескольких областей: подробного плана тестирования MCM; проектирование, изготовление и обкатка быстродействующей испытательной консоли; а также спецификацию, дизайн и разработку интерфейса высокоскоростных испытаний и кондиционирования окружающей среды для DWS. Эти действия по разработке были успешно завершены в Allied Signal Inc., подразделение Канзас-Сити (KCD), и описанные здесь возможности тестирования в настоящее время поддерживают тестирование DWS MCM и могут быть адаптированы для тестирования аналогичных модулей HSD.},
дои = {10.2172/10146570},
URL = {https://www.osti.gov/biblio/10146570},
журнал = {},
номер =,
объем = ,
место = {США},
год = {1994},
месяц = {4}
}
Копировать в буфер обмена
Посмотреть технический отчет (11,34 МБ)
https://doi.
org/10.2172/10146570
Экспорт метаданных
Сохранить в моей библиотеке
Вы должны войти в систему или создать учетную запись, чтобы сохранять документы в своей библиотеке.
Аналогичных записей в сборниках OSTI.GOV:
- Аналогичные записи
Патент США на зондовую станцию Wafer с корпусом для контроля окружающей среды. Патент (Патент № 6,313,649, выданный 6 ноября 2001 г.)
Эта заявка является продолжением заявки на патент США Сер. № 08/641,029, подана 29 апреля 1996 г., в настоящее время патент США. № 5,604,444, который, в свою очередь, является продолжением заявки на патент США Сер. № 08/417,982, подана 6 апреля 1995 г., в настоящее время патент США.
№ 5,532,609, который, в свою очередь, является подразделением заявки на патент США Сер. № 08/245,581, подана 18, 19 мая.94, теперь патент США. № 5,434,512, который, в свою очередь, является подразделением заявки на патент США Сер. № 07/896,853, поданной 11 июня 1992 г., теперь патент США. № 5,345,170.
ПРЕДПОСЫЛКИ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Настоящее изобретение направлено на зондовые станции для проведения высокоточных измерений высокоскоростных крупномасштабных интегральных схем на уровне пластин и других электронных устройств. Более конкретно, изобретение относится к такой станции зондов, имеющей кожух контроля окружающей среды для ограничения связи поддерживающего пластины держателя и зондов с внешними воздействиями, такими как электромагнитные помехи (ЭМП), воздух и/или свет.
СУЩНОСТЬ ИЗОБРЕТЕНИЯ
Зондовая станция оборудована встроенным кожухом для контроля микроклимата, по существу окружающим опорную поверхность для удерживания испытательного устройства, такой кожух ограничивает сообщение жидкости между внутренней и внешней частью кожуха и предпочтительно также обеспечивает электромагнитные помехи.
экранирование и темная среда. Ограниченное сообщение между внутренней и внешней частью корпуса сохраняется практически постоянным, несмотря на позиционирующее перемещение либо опорной поверхности, либо держателей зондов. Каждый из механизмов позиционирования опорной поверхности и держателей зондов имеет части, расположенные, по меньшей мере, частично за пределами корпуса, для механической передачи движения поверхности или держателю.
В соответствии с другим аспектом изобретения корпус климатического контроля имеет верхнюю часть, выступающую над опорной поверхностью, и боковую часть, по существу окружающую опорную поверхность, при этом опорная поверхность может перемещаться в поперечном направлении относительно верхней части боковой части.
В соответствии с другим аспектом изобретения корпус контроля среды имеет отверстие с закрывающейся дверцей для замены различных тестовых устройств на опорной поверхности способом, совместимым с функциями позиционирования и контроля среды.
Вышеизложенные и другие цели, особенности и преимущества изобретения станут более понятными при рассмотрении следующего подробного описания изобретения в сочетании с прилагаемыми чертежами.
КРАТКОЕ ОПИСАНИЕ НЕСКОЛЬКИХ ВИДОВ НА ЧЕРТЕЖАХ
РИС. 1 представляет собой частичный вид спереди примерного варианта станции зондирования пластин, сконструированной в соответствии с настоящим изобретением.
РИС. 2 представляет собой вид сверху станции зондирования пластин, показанной на фиг. 1.
РИС. 2А представляет собой частичный вид сверху станции зондирования пластин, показанной на ФИГ. 1 с частично открытой дверью корпуса.
РИС. 3 представляет собой частичный разрез и частично схематический вид спереди станции зонда, показанной на фиг. 1.
РИС. 3А представляет собой увеличенный вид в разрезе по линии 3А-3А на фиг. 3.
РИС. 4 представляет собой вид сверху уплотнительного узла, где моторизованный механизм позиционирования проходит через дно корпуса.
РИС. 5А представляет собой увеличенный детальный вид сверху по линии 5А-5А на фиг. 1.
РИС. 5B представляет собой увеличенный вид сверху в разрезе по линии 5B-5B на фиг. 1.
РИС. 6 представляет собой частичный схематический вид сверху узла патрона по линии 6-6 на фиг. 3.
РИС. 7 представляет собой вид спереди с частичным разрезом узла патрона, показанного на ФИГ. 6.
РИС. 8 представляет собой вид сбоку с частичным разрезом держателя зонда и зонда.
РИС. 9 представляет собой вид снизу с частичным разрезом по линии 9-9 на фиг. 8.
ОПИСАНИЕ ИЗОБРЕТЕНИЯ Общее расположение зондовой станции
Со ссылкой на РИС. 1, 2 и 3 примерный вариант станции зонда по настоящему изобретению содержит основание 10 (показано частично), которое поддерживает плиту 12 с помощью ряда домкратов 14а, 14b, 14с, 14d, которые избирательно поднимают и опускают плиту по вертикали. относительно основания с небольшим приращением (приблизительно одна десятая дюйма) для целей, которые будут описаны ниже.
На основании 10 станции зонда также поддерживается моторизованный позиционер 16, имеющий прямоугольный плунжер 18, который поддерживает подвижный зажимной узел 20 для поддержки пластины или другого тестового устройства. Узел 20 патрона свободно проходит через большое отверстие 22 в плите 12, что позволяет позиционеру 16 перемещать узел зажима независимо от плиты по осям X, Y и Z, т.е. горизонтально вдоль двух взаимно перпендикулярных осей X и Y. и вертикально вдоль оси Z. Аналогичным образом, плита 12 при вертикальном перемещении с помощью домкратов 14 перемещается независимо от узла патрона 20 и позиционера 16.
На плите 12 установлено несколько отдельных устройств позиционирования зондов, таких как 24 (показан только один из них), каждое из которых имеет выдвижной элемент 26, на котором установлен держатель 28 зонда, который, в свою очередь, поддерживает соответствующий зонд 30 для контакта с пластинами и другие испытательные устройства, установленные на узле патрона 20. Позиционер 24 датчика имеет микрометрические регулировки 34, 36 и 38 для регулировки положения держателя датчика 28 и, следовательно, датчика 30 по осям X, Y и Z соответственно относительно зажимного устройства 20.
Ось Z является примером того, что в данном документе в общих чертах называется «осью приближения» между держателем зонда 28 и зажимным приспособлением 20, хотя направления приближения не являются ни вертикальными, ни линейными, вдоль которых зонд наконечник и пластина или другое тестовое устройство соприкасаются друг с другом, также должны быть включены в значение термина «ось приближения». Дополнительная микрометрическая регулировка 40 обеспечивает регулируемый наклон держателя 28 зонда для регулировки плоскостности зонда по отношению к пластине или другому испытательному устройству, поддерживаемому узлом держателя 20. Может быть до двенадцати отдельных позиционеров 24 зонда, каждый из которых поддерживает соответствующий зонд. расположены на плите 12 вокруг узла 20 зажимного патрона так, чтобы сходиться радиально к узлу зажимного патрона подобно спицам колеса. При таком расположении каждый отдельный позиционер 24 может независимо регулировать свой соответствующий датчик в направлениях X, Y и Z, в то время как домкраты 14 могут приводиться в действие для подъема или опускания плиты 12 и, таким образом, всех позиционеров 24 и их соответствующих датчиков в унисон.
Корпус климатического контроля состоит из верхней коробчатой части 42, жестко прикрепленной к плите 12, и нижней коробчатой части 44, жестко прикрепленной к основанию 10. Обе части изготовлены из стали или другого подходящего электропроводного материала для обеспечения экранирования от электромагнитных помех. . Чтобы приспособиться к небольшому вертикальному перемещению между двумя коробчатыми частями 42 и 44, когда домкраты 14 приводятся в действие для подъема или опускания плиты 12, по периферии на их сопряжение в передней части кожуха и между нижней частью 44 и плитой 12, так что ЭМП, по существу герметичное и легкое уплотнение сохраняется, несмотря на относительное вертикальное перемещение между двумя коробчатыми частями 42 и 44. Даже если верхняя часть коробчатая часть 42 жестко прикреплена к плите 12, подобная прокладка 47 предпочтительно размещается между частью 42 и верхней частью плиты для максимального уплотнения.
Со ссылкой на фиг. 5А и 5В, верхняя часть верхней коробчатой части 42 содержит восьмиугольную стальную коробку 48 с восемью боковыми панелями, такими как 49а и 49b, через которые могут подвижно проходить выдвижные элементы 26 соответствующих устройств 24 позиционирования зонда.
Каждая панель содержит полый корпус, в который помещен соответствующий лист 50 упругой пены, который может быть подобен указанному выше прокладочному материалу. Прорези, такие как 52, частично вырезаны вертикально в пенопласте совмещены с прорезями 54, образованными на внутренней и внешней поверхностях корпуса каждой панели, через которые может проходить с возможностью перемещения соответствующий выдвижной элемент 26 соответствующего устройства 24 позиционирования зонда. Пенопласт с прорезями обеспечивает перемещение по осям X, Y и Z удлиняющих элементов 26 каждого устройства позиционирования зонда, сохраняя при этом электромагнитное излучение, по существу герметичное и легкое уплотнение, обеспечиваемое корпусом. В четырех панелях, чтобы обеспечить больший диапазон перемещения по осям X и Y, пенопластовый лист 50 зажат между парой стальных пластин 55, имеющих в нем прорези 54, причем такие пластины могут скользить в поперечном направлении внутри корпуса панели в диапазоне перемещения, охватываемом увеличенными прорезями 56 на внутренней и внешней поверхностях корпуса панели.
В верхней части восьмиугольной коробки 48 предусмотрено круглое смотровое отверстие 58 с утопленным круглым прозрачным уплотнительным окном 60. Кронштейн 62 удерживает скользящую шторку 64 с отверстием для выборочного разрешения или предотвращения прохождения света через окно. Стереоскоп (не показан), подключенный к ЭЛТ-монитору, можно разместить над окном, чтобы обеспечить увеличенное изображение пластины или другого тестового устройства и наконечника зонда для правильного размещения зонда во время настройки или работы. В качестве альтернативы, окно 60 может быть удалено, а линза микроскопа (не показана), окруженная пенопластовой прокладкой, может быть вставлена через смотровое отверстие 58, при этом пена обеспечивает электромагнитное, герметичное и светонепроницаемое уплотнение.
Верхняя коробчатая часть 42 корпуса системы контроля микроклимата также включает стальную дверцу 68 на петлях, которая поворачивается наружу вокруг оси шарнира 70, как показано на ФИГ. 2А.
Шарнир смещает дверь вниз к верхней части верхней коробчатой части 42, так что она образует плотное, перекрывающееся, скользящее периферийное уплотнение 68а с верхней частью верхней коробчатой части. Когда дверь открыта и узел 20 зажима перемещается позиционером 16 под дверной проем, как показано на ФИГ. 2А узел патрона доступен для загрузки и выгрузки.
Со ссылкой на фиг. 3 и 4, герметичность корпуса также сохраняется во время позиционирующих перемещений моторизованного позиционера 16 благодаря наличию ряда из четырех уплотнительных пластин 72, 74, 76 и 78, уложенных друг на друга с возможностью скольжения. Размеры пластин возрастают от верхней к нижней, как и соответствующие размеры центральных отверстий 72а, 74а, 76а и 78а, образованных в соответствующих пластинах 72, 74, 76 и 78, и отверстия 79.а, сформированный в нижней части 44а нижней коробчатой части 44. Центральное отверстие 72а в верхней пластине 72 плотно примыкает к корпусу 18а подшипника вертикально перемещаемого плунжера 18.
Следующая пластина в нисходящей последовательности, пластина 74, имеет выступающий вверх периферийный край 74b, который ограничивает степень, в которой пластина 72 может скользить по верхней части пластины 74. Размер центрального отверстия 74а в пластине 74 позволяет позиционеру 16 перемещать плунжер 18 и его подшипник. корпус 18а поперек осей X и Y до тех пор, пока край верхней пластины 72 не упрется в край 74b пластины 74. Размер отверстия 74а, однако, слишком мал, чтобы его можно было открыть верхней пластиной 72, когда такой упор происходит, и поэтому уплотнение между пластинами 72 и 74 сохраняется независимо от перемещения плунжера 18 и корпуса его подшипника по осям X и Y. Дальнейшее перемещение плунжера 18 и корпуса подшипника в направлении упирания пластины 72 в край 74b приводит к скольжению пластины 74 в сторону периферийного края 76b следующей нижележащей пластины 76. Опять же, центральное отверстие 76а в пластина 76 достаточно велика, чтобы обеспечить примыкание пластины 74 к кромке 76b, но достаточно мала, чтобы пластина 74 не открывала отверстие 76а, тем самым сохраняя герметичность между пластинами 74 и 76.
Дальнейшее перемещение плунжера 18 и корпус подшипника в том же направлении вызывает одинаковое скольжение пластин 76 и 78 относительно лежащих под ними пластин в упор с кромкой 78b и боковой частью коробчатой части 44 соответственно без отверстий 78а и 79становление раскрытым. Эта комбинация скользящих пластин и центральных отверстий постепенно увеличивающегося размера обеспечивает полный диапазон перемещения плунжера 18 по осям X и Y позиционером 16, сохраняя при этом корпус в герметичном состоянии, несмотря на такое позиционирующее перемещение. Защита от электромагнитных помех, обеспечиваемая этой конструкцией, эффективна даже в отношении электродвигателей позиционера 16, поскольку они расположены под скользящими пластинами.
Патрон в сборе
С особой ссылкой на фиг. 3, 6 и 7, патронный узел 20 имеет уникальную модульную конструкцию, которую можно использовать как с кожухом контроля окружающей среды, так и без него. Поршень 18 поддерживает регулировочную пластину 79, которая, в свою очередь, поддерживает первый, второй и третий элементы 80, 81 и 83 узла патрона, соответственно, расположенные на все большем расстоянии от зонда(ов) вдоль оси приближения.
Элемент 83 представляет собой токопроводящую прямоугольную площадку или экран 83, на котором разъемно установлены токопроводящие элементы 80 и 81 круглой формы. Элемент 80 имеет плоскую обращенную вверх опорную поверхность 82 для пластины, имеющую ряд вертикальных отверстий 84. Эти отверстия сообщаются с соответствующими камерами, разделенными уплотнительными кольцами 88, причем камеры, в свою очередь, отдельно соединены с разными вакуумными линиями 9.0a, 90b, 90c (фиг. 6), сообщающихся через отдельно управляемые вакуумные клапаны (не показаны) с источником вакуума. Соответствующие вакуумные линии избирательно соединяют соответствующие камеры и их отверстия с источником вакуума для удерживания пластины или, альтернативно, изолируют отверстия от источника вакуума для высвобождения пластины обычным способом. Раздельное управление соответствующими камерами и их соответствующими отверстиями позволяет патрону удерживать пластины разного диаметра.
В дополнение к круглым элементам 80 и 81 вспомогательные патроны, такие как 92 и 94, съемно установлены на углах элемента 83 с помощью винтов (не показаны) независимо от элементов 80 и 81 с целью поддержки контактных подложек и калибровочные подложки, в то время как пластина или другое тестовое устройство одновременно поддерживается элементом 80.
Каждый вспомогательный патрон 92, 94 имеет свою собственную отдельную обращенную вверх плоскую поверхность 100, 102 соответственно, параллельную поверхности 82 элемента 80. Вакуум отверстия 104 выступают через поверхности 100 и 102 от сообщения с соответствующими камерами внутри корпуса каждого вспомогательного патрона. Каждая из этих камер, в свою очередь, сообщается через отдельную вакуумную линию и отдельный вакуумный клапан независимого действия (не показан) с источником вакуума, причем каждый такой клапан избирательно соединяет или изолирует соответствующие наборы отверстий 104 по отношению к источнику вакуума. независимо от работы отверстий 84 элемента 80, чтобы выборочно удерживать или освобождать контактную подложку или калибровочную подложку, расположенную на соответствующих поверхностях 100 и 102, независимо от пластины или другого тестового устройства. Необязательный металлический экран 106 может выступать вверх от краев элемента 83, окружая другие элементы 80, 81 и вспомогательные патроны 9.
2, 94.
Все элементы узла патрона 80, 81 и 83, а также дополнительный элемент узла патрона 79 электрически изолированы друг от друга, несмотря на то, что они изготовлены из электропроводящего металла и разъемно соединены между собой металлическими винтами, такими как как 96. Со ссылкой на фиг. 3 и 3А, электрическая изоляция является результатом того, что в дополнение к упругим диэлектрическим уплотнительным кольцам 88 предусмотрены диэлектрические прокладки 85 и диэлектрические шайбы 86. Это, в сочетании с тем, что винты 96, проходят через увеличенные отверстия в нижнем одном из двух элементов, которые каждый винт соединяет вместе, тем самым предотвращая электрический контакт между стержнем винта и нижним элементом, обеспечивая желаемую изоляцию. Как видно на фиг. 3, диэлектрические прокладки 85 проходят только по небольшим частям противолежащих поверхностей соединенных между собой элементов зажимного узла, тем самым оставляя воздушные зазоры между противолежащими поверхностями на большей части их соответствующих площадей.
Такие воздушные зазоры минимизируют диэлектрическую проницаемость в пространствах между соответствующими элементами зажимного узла, тем самым соответственно минимизируя емкость между ними и возможность утечки электрического тока от одного элемента к другому. Предпочтительно прокладки и шайбы 85 и 86, соответственно, изготовлены из материала, имеющего наименьшую возможную диэлектрическую постоянную, обеспечивающую высокую размерную стабильность и высокое объемное удельное сопротивление. Подходящим материалом для прокладок и шайб является стеклоэпоксидная смола или гомополимер ацеталя, продаваемый под торговой маркой Delrin компанией E.I. Дюпон.
Со ссылкой на фиг. 6 и 7, зажимной узел 20 также включает в себя пару съемных электрических соединительных узлов, обозначенных в целом как 108 и 110, каждый из которых имеет по меньшей мере два проводящих соединительных элемента 108а, 108b и 110а, 110b соответственно, электрически изолированных друг от друга, с соединительные элементы 108b и 110b предпочтительно соосно окружают соединительные элементы 108a и 110a в качестве их ограждений.
При желании соединительные узлы 108 и 110 могут иметь трехосную конфигурацию, чтобы включать соответствующие внешние экраны 108с, 110с, окружающие соответствующие соединительные элементы 108b и 110b, как показано на фиг. 7. Внешние экраны 108с и 110с, при желании, могут быть электрически соединены через экранирующую коробку 112 и опорный кронштейн 113 соединителя с элементом 83 зажимного узла, хотя такое электрическое соединение является необязательным, особенно с учетом окружающего экранирующего кожуха 42 от электромагнитных помех. , 44. В любом случае соответствующие соединительные элементы 108а и 110а электрически соединены параллельно с соединительной пластиной 114, сопряженно и разъемно соединены вдоль изогнутой контактной поверхности 114а с помощью винтов 114b и 114с с изогнутой кромкой элемента 80 зажимного узла. Наоборот, соединительные элементы 108b и 110b соединены параллельно с соединительной пластиной 116, аналогично сопряженной разъемно соединенной с элементом 81. Соединительные элементы свободно проходят через прямоугольное отверстие 112а в коробке 112, будучи электрически изолированными от коробки 112 и, следовательно, от элемента 83, а также электрически изолированы друг от друга.
Установочные винты, такие как 118, разъемно крепят соединительные элементы к соответствующим соединительным пластинам 114 и 116.
Либо коаксиальные, либо, как показано, триаксиальные кабели 118 и 120 образуют части соответствующих сборок съемных электрических разъемов 108 и 110, как и их соответствующие трехосные съемные разъемы 122 и 124, которые проходят через стенку нижней части 44 блока управления микроклиматом корпуса так, чтобы внешние экраны трехосных разъемов 122, 124 были электрически соединены с корпусом. Другие триаксиальные кабели 122а, 124а можно отсоединять от разъемов 122 и 124 от подходящего испытательного оборудования, такого как модульный источник/монитор постоянного тока Hewlett-Packard 4142B или прецизионный измеритель LCR Hewlett-Packard 4284A, в зависимости от приложения испытания. Если кабели 118 и 120 представляют собой просто коаксиальные кабели или кабели других типов, имеющие только две жилы, одна жила соединяет внутренний (сигнальный) соединительный элемент соответствующего соединителя 122 или 124 с соответствующим соединительным элементом 108а или 110а, тогда как другой проводник соединяет промежуточный (защитный) соединительный элемент соответствующего соединителя 122 или 124 с соответствующим соединительным элементом 108b, 110b.
В любом случае, съемные соединительные узлы 108, 110, благодаря их взаимному соединению с двумя соединительными пластинами 114, 116, немедленно обеспечивают готовые к использованию сигнальные и защитные соединения с элементами зажимного узла 80 и 81 соответственно, как а также готовые к использованию защищенные соединения Кельвина. Для приложений, требующих только ограждения зажимного узла, как, например, измерение слаботочной утечки из испытательного устройства через элемент 80, необходимо только, чтобы оператор подсоединил один защищенный кабель 122а от испытательного прибора, такого как Hewlett. — Модульный источник/монитор постоянного тока Packard 4142B к съемному разъему 122, так что сигнальная линия проходит к элементу 80 зажимного приспособления через соединительный элемент 108a и соединительную пластину 114, а защитная линия проходит к элементу 81 через соединительный элемент. 108b и соединительной пластиной 116. В качестве альтернативы, если соединение Кельвина с зажимным узлом требуется для низковольтных измерений, например, необходимых для измерений малой емкости, оператору нужно просто подключить пару кабелей 122a и 124a к соответствующим соединителям.
122, 124 от подходящего контрольно-измерительного прибора, такого как прецизионный измеритель LCR Hewlett-Packard 4284A, обеспечивая тем самым как исходные, так и измерительные линии к элементу 80-го проложите соединительные элементы 108а и 110а и соединительную пластину 114, а также защитные линии к элементу 81 через соединительные элементы 108b и 110b и соединительную пластину 116.
Датчик в сборе
Со ссылкой на РИС. 5В, 8 и 9, соответствующие подвижные датчики 30, состоящие из пар элементов 30а датчиков, поддерживаются соответствующими держателями 28 датчиков, которые, в свою очередь, поддерживаются соответствующими выступающими частями 26 различных устройств позиционирования датчиков, таких как 24. Поверх каждого устройства 24 позиционирования датчика расположен экран. коробку 126, имеющую пару трехосных соединителей 128, 130, установленных на ней с соответствующими трехосными кабелями 132, входящими в каждый трехосный соединитель от подходящего контрольно-измерительного прибора, как упоминалось ранее.
Каждый трехосный соединитель включает в себя соответствующий внутренний соединительный элемент 128а, 130а, промежуточный соединительный элемент 128b, 130b и внешний соединительный элемент 128с, 130с в концентрическом расположении. Каждый внешний соединительный элемент 128с, 130с заканчивается соединением с экранирующей коробкой 126. И наоборот, внутренние соединительные элементы 128а, 130а и промежуточные соединительные элементы 128b, 130b подсоединяются соответственно к внутреннему и внешнему проводникам пары коаксиальных кабелей. 134, 136, которые поэтому являются защищенными кабелями. Каждый кабель 134, 136 оканчивается через соответствующий коаксиальный разъем 138, 140 с соответствующим элементом датчика 30а, имеющим центральный проводник 142, окруженный защитным кожухом 144. Чтобы обеспечить адекватное экранирование коаксиальных кабелей 134, 136, особенно в области снаружи восьмиугольной коробки 48 вокруг кабелей 134, 136 предусмотрена электропроводящая экранирующая трубка 146, электрически соединенная через экранирующую коробку 126 с внешним соединительным элементом 128с, 130с соответствующих трехосных соединителей 128, 130.
Экранирующая трубка 146 проходит через ту же щель в пенопласте 50, что и нижележащий удлиняющий элемент 26 позиционера 24 зонда. Таким образом, каждый индивидуально подвижный зонд 30 имеет не только свой собственный отдельно подвижный держатель 28 зонда, но и свой собственный индивидуально подвижный экран 146 для его защищенные коаксиальные кабели, экран которых перемещается вместе с держателем зонда независимо от перемещения любого другого держателя зонда с помощью любого другого механизма позиционирования 24. Эта особенность является особенно предпочтительной, поскольку такие индивидуально перемещаемые датчики обычно не оборудованы как для экранированных, так и для защищенных соединений, и этот недостаток устраняется описанной конструкцией. Соответственно, датчики 30 можно использовать с теми же способами ограждения и соединения Кельвина в готовом к использованию виде, что и зажимной узел 20, с полным экранированием, несмотря на возможность индивидуального позиционирования каждого датчика 30.